雷射探针式三次元检测装置 NH-3SP
| 测量范围：XYZ=150*150*10mm | ||||||||
| 显示解析度：XY=0.01um，Z=0.001um | ||||||||
| 1）Auto Foucs的测量原理 | ||||||||
| 特点： | ||||||||
| 1）可测量陡坡面 | ||||||||
| 2）测量范围广 | ||||||||
| 3）不受工件表面的颜色/反射率影响 | ||||||||
| 测量功能 | ||||||||
| 1）断面形状测量 （轮廓形状与粗度） | ||||||||
| 2）三次元形状测量（表面形状与粗度） | ||||||||
| 3）尺寸测量功能（以高度门槛值检出界线的功能） | ||||||||
| 4）自动测量功能（利用巨集程式的自动测量范例，可于复数工件的全自动测量发挥威力） | ||||||||
| 5）Nomarski观察功能（选配） | ||||||||
| 可观察奈米等级的高度差的Nomarski光学系与雷射探针 | ||||||||
| 6）影像处理的尺寸、形状测量功能（选配） | ||||||||
| ■ 规格 | ||||||||
| 最小分解力 | 0.001μｍ | |||||||
| 最高精度 | ±(0.1+0.3Ｌ/10)μｍ | |||||||
| 高度再現性 | σ=0.01μm以内 | |||||||
| 最高测定范围 | 10ｍｍ(～120mm) | |||||||
| XY最小分解能 | 0.02μm | |||||||
| XY絶対精度=±(0.5+2.5L/1000)μｍ | ||||||||
| XY測定範囲=150×150mm～ | ||||||||
| 制动软件OS | WindowsXP | |||||||
