小直径硅晶圆边抛研磨装置

型号:SFF-200

（200mm硅晶圆对应半自动机器）

本装置是硅晶圆外围面（斜面以及平面还有顶部）使用mipox公司的研磨带 作为半自动运行研磨加工的目的来使用的。

半自动运行是指硅晶圆的放入以及收取手工来完成，事先要完成设定条件只有加工是自动运行的。

机械构成

1).部轴　　　　　6).研磨带卷盘

2).轴移动　　　　7).机体

3).交接台　　　　8).管道

4).边抛研磨头　　9).电路控制

5).边抛研磨倾斜　10).其他