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小直径硅晶圆边抛研磨装置

型号:SFF-200

(200mm硅晶圆对应半自动机器)

本装置是硅晶圆外围面(斜面以及平面还有顶部)使用mipox公司的研磨带 作为半自动运行研磨加工的目的来使用的。

半自动运行是指硅晶圆的放入以及收取手工来完成,事先要完成设定条件只有加工是自动运行的。

机械构成

1).部轴     6).研磨带卷盘

2).轴移动    7).机体

3).交接台    8).管道

4).边抛研磨头  9).电路控制

5).边抛研磨倾斜 10).其他