高速Mapping椭偏仪ME-210
| 適用透明基板的高速Mapping橢偏儀 | |||||||||||
| 橢偏儀為一種光學系膜厚量測裝置，這項裝置的特點是連1nm以下 的極薄膜皆可高精度測量。 |
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| 但卻不太適合測量玻璃等透明基板上的 | |||||||||||
| ME-210-T活用了本公司特有的偏光Sensor技術，將不可能變可能。 | |||||||||||
| 本來難以測量的0.5mm厚玻璃基板，在這項技術下，可進行極薄膜的 高精度測量。舉例 |
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| 來說，顯示器面板用的ITO膜或配向膜評估，也可 運用ME-210-T輕鬆達成。 |
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| ME-210-T的高密度膜厚分布資料，定會對先進的薄膜產品產生 極大的用處。 |
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