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高速Mapping椭偏仪ME-210

適用透明基板的高速Mapping橢偏儀  
橢偏儀為一種光學系膜厚量測裝置,這項裝置的特點是連1nm以下
的極薄膜皆可高精度測量。
 
但卻不太適合測量玻璃等透明基板上的  
ME-210-T活用了本公司特有的偏光Sensor技術,將不可能變可能。  
本來難以測量的0.5mm厚玻璃基板,在這項技術下,可進行極薄膜的
高精度測量。舉例
 
來說,顯示器面板用的ITO膜或配向膜評估,也可
運用ME-210-T輕鬆達成。
 
ME-210-T的高密度膜厚分布資料,定會對先進的薄膜產品產生
極大的用處。