非接触表面形状测量装置PF-60

完全非接触的Point Focus

可测低反射率的透明物体

高阶机种NH3SP的Z解析度1nm

扫描型stage可大范围测量

NE系列备有座标系统

高速测量PF系列

使用极细laser probe，细部结可测量

laser probe的最小直径为0.4um

接触式测量仪器的扫描针无法进入的细部位置，雷射皆可扫描测量，提供更精密的测量。

装置规格