SYO-125 小直径硅晶圆边抛装置

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■ 抛光2”- 6”的晶圆边缘

■ 研磨头有旋转装置，可实现高速倒角抛光

■ 采用抛光带的自动收卷的方式

■ 该产品是一款操作简单的晶圆手动型装置

■ 适用于硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃、化合物晶圆等

■ 顶端倾斜角度 +68～-10°

■ W600 x D700 x H1200mm

ꄴ前一个：小直径硅晶圆边抛研磨装置

ꄲ后一个：晶圆研磨抛光设备