晶圆研磨抛光设备
结合抛光耗材厂商的产品与我司的制作技术，首创世界上带抛晶圆边抛设备，
广泛地在晶圆生产领域使用。
本装置是用抛光带对晶圆的边缘倒角、定位连续抛光而研发的产品。
现已被日本国内外许多的晶圆制造商导入使用。
结合抛光耗材厂商的产品与我司的制作技术，首创世界上带抛晶圆边抛设备，
广泛地在晶圆生产领域使用。
本装置是用抛光带对晶圆的边缘倒角、定位连续抛光而研发的产品。
现已被日本国内外许多的晶圆制造商导入使用。
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